精密環(huán)控柜主要由設(shè)備主柜體、控制系統(tǒng)、氣流循環(huán)系統(tǒng)、潔凈過濾器、制冷(熱)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)、局部氣浴等組成，為光刻機、激光干涉儀等精密測量、精密制造設(shè)備提供超高精度溫濕度、潔凈度的工作環(huán)境。該設(shè)備內(nèi)部通過風(fēng)機引導(dǎo)氣流以一定的方向循環(huán)，控制系統(tǒng)對循環(huán)氣流的每個環(huán)節(jié)進行處理，從而使柜內(nèi)的溫濕度達到超高的控制精度。該系統(tǒng)可實現(xiàn)潔凈度百級、十級、一級，溫度波動值±0.1℃、±0.05℃、±0.01℃、±0.002℃等精密環(huán)境控制。自面世以來，已為相關(guān)領(lǐng)域客戶提供了穩(wěn)定的實驗室環(huán)境以及監(jiān)測服務(wù)，獲得了眾多好評。高精密環(huán)控設(shè)備可移動，容易維護和擴展。山東精密測量恒溫恒濕
在集成電路制造這一高精密的領(lǐng)域中，芯片生產(chǎn)線上的光刻工序堪稱關(guān)鍵的環(huán)節(jié)，其對溫濕度的要求近乎達到苛刻的程度。即便是極其微小的 1℃溫度波動，都可能引發(fā)嚴重后果。光刻機內(nèi)部的光學(xué)鏡片會因熱脹冷縮，致使光路發(fā)生細微偏移。這看似毫厘之差，卻足以讓光刻圖案精度嚴重受損，使得芯片上的電路布線出現(xiàn)偏差，甚至短路等問題，進而大幅拉低芯片的良品率。而在濕度方面，一旦濕度突破 50% 的警戒線，光刻膠便極易受潮，其感光度發(fā)生改變，導(dǎo)致曝光效果大打折扣，無疑同樣對芯片質(zhì)量產(chǎn)生不可忽視的負面影響。山東精密測量恒溫恒濕精密環(huán)控柜為光刻、干法刻蝕、沉積、表征和其他常見加工設(shè)備提供穩(wěn)定溫濕度、潔凈度、防噪音、抗微震條件。
激光干涉儀用于測量微小位移，精度可達納米級別。溫度波動哪怕只有 1℃，由于儀器主體與測量目標所處環(huán)境溫度不一致，二者熱脹冷縮程度不同，會造成測量基線的微妙變化，導(dǎo)致測量位移結(jié)果出現(xiàn)偏差，在高精度機械加工零件的尺寸檢測中，這種偏差可能使零件被誤判為不合格品，增加生產(chǎn)成本。高濕度環(huán)境下，水汽會干擾激光的傳播路徑，使激光發(fā)生散射，降低干涉條紋的對比度，影響測量人員對條紋移動的精確判斷，進而無法準確獲取位移數(shù)據(jù)，給精密制造、航空航天等領(lǐng)域的科研與生產(chǎn)帶來極大困擾。
在 3D 打印行業(yè)蓬勃發(fā)展的當下，溫濕度成為左右打印質(zhì)量的關(guān)鍵因素。在打印過程中，一旦環(huán)境溫度出現(xiàn)較大幅度的波動，用于成型的光敏樹脂或熱熔性材料便會受到直接沖擊。材料的固化速率、流動性不再穩(wěn)定，這會直接反映在打印模型上，導(dǎo)致模型出現(xiàn)層紋，嚴重時發(fā)生變形，甚至產(chǎn)生開裂等嚴重缺陷。而當濕度偏高，材料極易吸濕。在打印過程中，這些吸收的水分轉(zhuǎn)化為氣泡，悄然隱匿于模型內(nèi)部或浮現(xiàn)于表面，極大地破壞模型的結(jié)構(gòu)完整性，使其表面質(zhì)量大打折扣，影響 3D 打印產(chǎn)品在工業(yè)設(shè)計、醫(yī)療模型等諸多領(lǐng)域的實際應(yīng)用。精密環(huán)境控制設(shè)備依托自主研發(fā)的高精密控溫技術(shù)，實現(xiàn)了 0.1% 的超高輸出精度。
在精密機械加工領(lǐng)域，高精度數(shù)控機床是加工航空發(fā)動機葉片等關(guān)鍵零部件的重要裝備，其加工精度直接影響航空發(fā)動機性能。溫濕度波動對加工過程影響明顯。若溫度不穩(wěn)定，機床的主軸、導(dǎo)軌等關(guān)鍵部件會因熱脹冷縮產(chǎn)生熱變形，導(dǎo)致刀具切削路徑偏離預(yù)設(shè)軌跡，加工出的葉片曲面精度無法達到設(shè)計標準，進而影響發(fā)動機性能。當車間濕度升高，金屬切削刀具容易生銹，刀具使用壽命縮短，且加工表面粗糙度增加，難以滿足精密零件對表面質(zhì)量的嚴格要求 。高精密溫濕度控制設(shè)備內(nèi)部濕度穩(wěn)定性可達±0.5%@8h。山東精密測量恒溫恒濕
提供培訓(xùn)服務(wù)，讓用戶熟練掌握設(shè)備操作與維護要點。山東精密測量恒溫恒濕
高精密恒溫恒濕技術(shù)憑借其無可比擬控制系統(tǒng)，為眾多場景帶來穩(wěn)定且理想的環(huán)境。這一技術(shù)通過高精度傳感器，對環(huán)境溫濕度進行實時監(jiān)測，誤差能控制在極小范圍內(nèi)，溫度可至 ±0.0002℃，濕度穩(wěn)定在 ±1%。其原理在于智能調(diào)控系統(tǒng)，依據(jù)設(shè)定參數(shù)，迅速調(diào)節(jié)制冷、制熱與加濕、除濕設(shè)備。當溫度升高，制冷系統(tǒng)快速啟動，降低溫度；濕度上升時，高效除濕裝置立即運作。在諸多需要嚴苛環(huán)境條件的場景中，它都發(fā)揮著關(guān)鍵作用。例如，在需要長期保存對環(huán)境敏感的珍貴物品或樣本時，它能防止物品因溫濕度變化變質(zhì)、損壞。在進行精密實驗時，穩(wěn)定的溫濕度為實驗數(shù)據(jù)的準確性與可靠性提供保障，避免因環(huán)境波動干擾實驗結(jié)果。總之，高精密恒溫恒濕技術(shù)是維持環(huán)境穩(wěn)定、保障各類工作順利開展的重要支撐。山東精密測量恒溫恒濕
